隨著全球能源危機和環(huán)境問題的加劇，人們對清潔能源的需求日益增加。氫作為一種來源豐富、綠色低碳、高效的應用廣泛的二次能源成為了人們關注的焦點之一。在能源領域正逐步成為全球能源轉型發(fā)展的重要載體之一，燃氣輪機是一種常見的能源轉換裝置，將化學能轉換為機械能。

氫氣作為燃氣輪機的燃料用清潔的氫燃料通過使用升級改造后的燃氣輪機發(fā)電，空氣和氫氣分別經(jīng)壓氣機與泵增壓后送入燃燒室，燃燒并釋放出熱能。燃燒所產(chǎn)生的燃氣吸熱后溫度升高，然后流入燃氣輪機膨脹做功，產(chǎn)生的廢氣排入余熱鍋爐進行熱交換，提升余熱鍋爐中的水溫后，經(jīng)煙氣脫硝系統(tǒng)排入大氣。在所有運行方式下需要了解控制調(diào)節(jié)、監(jiān)視和報告機組狀況。通�？刂葡到y(tǒng)包括啟動控制系統(tǒng)、轉速控制系統(tǒng)以及溫度控制系統(tǒng)等。主要功能有實現(xiàn)機組啟動（含盤車、清吹、點火、暖機等）和停機的動作過程；實現(xiàn)按需求進行加、減負荷；調(diào)節(jié)被控制轉子或軸轉速；調(diào)整燃料控制系統(tǒng)或空氣質(zhì)量流量控制系統(tǒng)以獲得所設定的透平溫度值；控制其它關鍵參數(shù)（如溫度、壓力、輸出功率、推力、間隙等）等。

因而燃氣輪機主要通過控制進入燃氣輪機燃燒室的燃料流量來改變?nèi)細廨啓C的運行工況為監(jiān)測燃汽輪機氫氣質(zhì)量流量和控制工采網(wǎng)推薦美國Siargo MEMS氣體質(zhì)量流量控制器- MFC2000系列流量控制范圍從幾毫升到200L/min的流量選擇。MFC2000質(zhì)量流量控制器采用SIARGO公司專有的MEMS流量傳感芯片，集成了時域流量傳感技術和智能電子技術。與市場上傳統(tǒng)的量熱式流量傳感技術相比，這種獨特的時域流量傳感技術消除了一些常見氣體的敏感性。而對于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實現(xiàn)氣體識別。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結合防水、防油納米涂層，產(chǎn)品性能和可靠性得以大幅提高。時域流量傳感技術還提供了更好的線性度,并使溫度效應大幅降低。

       原文標題 : 氣體質(zhì)量流量控制器在燃汽輪機氫氣質(zhì)量流量和控制中的技術方案