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半導(dǎo)體設(shè)備

【1】行業(yè)地位、概述與國(guó)產(chǎn)化情況

除了材料,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的運(yùn)轉(zhuǎn)還少不了半導(dǎo)體設(shè)備的支持。

半導(dǎo)體設(shè)備主要包括硅片設(shè)備、熱處理設(shè)備、光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、離子注入設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、拋光設(shè)備、清洗設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備這九類(lèi)。其總投資約占晶圓廠建設(shè)投資的75-80%,且絕大多數(shù)設(shè)備存在相當(dāng)高的技術(shù)壁壘,幾乎是我國(guó)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控之路中最關(guān)鍵的領(lǐng)域。

而2020年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率僅為16%,收入體量最大的半導(dǎo)體設(shè)備公司北方華創(chuàng)占全球設(shè)備份額也不足1%,任重而道遠(yuǎn)。

其中,光刻機(jī)是半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中技術(shù)壁壘最高的設(shè)備,每一臺(tái)都需要數(shù)百天的打磨,其作用光刻又是晶圓制造的核心環(huán)節(jié),即將設(shè)計(jì)好的電路圖從光刻版轉(zhuǎn)印到晶圓表面的光刻膠上,便于后續(xù)通過(guò)刻蝕和離子注入等工藝實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)電路。因此在光刻機(jī)領(lǐng)域具有壟斷地位的荷蘭企業(yè)ASML在全球半導(dǎo)體行業(yè)舉足輕重,去年全年僅售賣(mài)258臺(tái)光刻機(jī),營(yíng)收卻高達(dá)一千多億,真正的千金難求。

我國(guó)要想自主生產(chǎn)的話,就不僅僅是光刻機(jī)的問(wèn)題,要涉及到上千家供應(yīng)商,現(xiàn)在制作它的設(shè)備和材料主要是美國(guó)、德國(guó)、日本、中國(guó)臺(tái)灣提供,美國(guó)為主,所以說(shuō)得建成龐大的產(chǎn)業(yè)鏈,在這么多的高科技領(lǐng)域領(lǐng)先才能搞定光刻機(jī)。中芯國(guó)際在先進(jìn)制程上難以進(jìn)步的原因,起到?jīng)Q定性作用的就是美國(guó)對(duì)中芯購(gòu)買(mǎi)ASML EUV光刻機(jī)的阻撓。

【2】龍頭公司簡(jiǎn)析

北方華創(chuàng):國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的絕對(duì)龍頭,平臺(tái)屬性強(qiáng)。深耕芯片制造刻蝕、薄膜沉積領(lǐng)域近20年,已成為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體高端工藝裝備及一站式解決方案的供應(yīng)商,客戶(hù)覆蓋中芯國(guó)際、華虹、三安光電、京東方等各產(chǎn)業(yè)鏈龍頭。

中微公司:國(guó)內(nèi)介質(zhì)刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備雙龍頭,實(shí)行外延式發(fā)展戰(zhàn)略,介質(zhì)刻蝕機(jī)已打入 5nm 制程,技術(shù)接近世界級(jí)水準(zhǔn)。

精測(cè)電子:檢測(cè)設(shè)備龍頭,對(duì)半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域設(shè)備實(shí)現(xiàn)全覆蓋。在半導(dǎo)體膜厚、Memory、Driver IC三大領(lǐng)域深度布局,未來(lái)有望隨著半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)放量迎來(lái)第二波黃金成長(zhǎng)期。

華峰測(cè)控:測(cè)試機(jī)設(shè)備龍頭,產(chǎn)品從模擬和混合信號(hào)測(cè)試設(shè)備拓展至SoC測(cè)試。技術(shù)接近世界一流水平,進(jìn)入了封測(cè)龍頭供應(yīng)鏈,毛利達(dá)到80%。

晶盛機(jī)電:國(guó)內(nèi)晶體硅生長(zhǎng)設(shè)備龍頭,國(guó)內(nèi)高端市場(chǎng)占有率第一,在光伏、半導(dǎo)體硅片、藍(lán)寶石、SiC等四個(gè)領(lǐng)域均有成熟布局。同時(shí)公司還延伸到切、磨、拋、外延等生長(zhǎng)后處理階段,成長(zhǎng)為晶體制造一體化設(shè)備龍頭。

芯源微:國(guó)內(nèi)中高端涂膠顯影設(shè)備領(lǐng)導(dǎo)者,成功打破了國(guó)外廠商壟斷,是國(guó)內(nèi)唯一能提供中高端涂膠顯影設(shè)備的企業(yè),下游客戶(hù)覆蓋國(guó)內(nèi)大部分LED芯片制造企業(yè)和高端封裝企業(yè)。